འགྲེལ་བཤད

འདྲི་དཔྱད་གཏང་།

གཏན་གཏན་-འཕྲུལ་ཆས་ཀྱིས་བཟོས་པའི་གཱར་ཕའིཊ་ཤོག་ལེབ་འདི་ གཏན་གཏན་མཐོ་བའི་འཕྲུལ་ཆས་བརྒྱུད་དེ་བཟོ་མི་ གཱར་ཕའིཊ་ཐོན་སྐྱེད་ཅིག་ཨིནམ་ད་ དེ་ནང་ རྒྱ་ཚད་བཟོད་བསྲན་དམ་དྲག་དང་ ཁ་ཐོག་འཇམ་པོ་ དེ་ལས་ དབྱིབས་རྩིས་རིག་པའི་དབྱིབས་མགུ་རྙོག་དྲགས་ཚུ་ཡོདཔ་ཨིན། འདི་གིས་ གཱར་ཕའིཊ་གི་ཁྱད་ཆོས་དྲག་ཤོས་ཚུ་ གཏན་གཏན་འཕྲུལ་ཆས་འཕྲུལ་རིག་དང་གཅིག་ཁར་ མཉམ་སྡེབ་འབད་དེ་ གཏན་གཏན་མཐོ་བའི་བཟོ་གྲྭའི་ས་ཁོངས་ཚུ་ནང་ ཁྱབ་ཆེཝ་སྦེ་ལག་ལེན་འཐབ་ཨིན།

ལག་ལེན་ཁྱབ་ཁོངས་གཙོ་བོ།

1. ཕྱེད་ཀ་གློག་རྒྱུན་/pv བཟོ་གྲྭ།

ཝ་ཕར་བཟོ་སྐྲུན། ཨེ་ལིག་ཊོ་སི་ཊེཊིག་འཐེན་ཕོརཔ། ཁྱབ་སྤེལ་ཐབ་ཚང་གི་ཆ་ཤས། སི་ཝི་ཌི་འབག་པའི་ཤོག་ལེབ།
འོད་ཀྱི་གློག་ཤུགས་ཁམས་ཕྲན་: PECVD graphite boat, silicon wafer sintering བཟོ་སྦྱོར།
LED epitaxy: MOCVD གྷི་ར་ཕའིཊ་གཞི་རྟེན།

2. གློག་རྫས་འོད་འཕྲོ་བཟོ་སྦྱོར། -- གློག་རྫས་རྒྱུ་ཆ་: གཙང་སྦྲ་མཐོ་བའི་གྷི་ར་ཕའིཊ་ གཏན་གཏན་གྱི་བཟོ་སྦྱོར་གྱི་དོན་ལུ་ལག་ལེན་འཐབ་ཨིན།

3. བཟོ་གྲྭའི་ཐབ་ཚང་/དྲོད་ཚད་མཐོ་བའི་ཡོ་ཆས་ -- ཕྲ་རྡུལ་ཐབ་ཚང་ཚ་དྲོད་ས་ཁོངས་ཀྱི་ཆ་ཤས།

4. སྣུམ་ཁམས་ཕྲན་/ནུས་ཤུགས་གསརཔ། -- སྣུམ་ཁམས་ཕྲན་གཉིས་ལྡན་གྱི་ཤོག་ལེབ།

༥ གཏན་འཁེལ་གྱི་ལག་ཆས་/ཞིབ་འཚོལ་ {{༢}}- འོད་ཀྱི་བཀབ་ཐབས་ལུ་ གྷི་ར་ཕའིཊ་གི་གདོང་འབག་དང་ གློག་པར་གྱི་འོད་འཕྲོ་ཚད་འཇལ་ཆས་དཔེ་ཚད་ཀྱི་སྟེགས་བུ་ གནམ་སྟོང་གནས་རིམ་གྱི་ དྲོད་ཚད་མཐོ་དྲགས་ལུ་གདོང་ལེན་འབད་ཚུགས་པའི་ བཟོ་བཀོད་ཀྱི་ཆ་ཤས།

བཟོ་རིག་ཚད་གཞི།

ཚད་བཟུང་དབྱེ་རིམ།	དམིགས་བསལ་ཚད་བཟུང་ (ཆ་ཚན)	སྤྱིར་བཏང་ཁྱབ་ཚད།
གཞི་རྩའི་རྒྱུ་ཆ།	ནག་རྫས་གཙང་མ། (%)	༩༩.༩༢–༩༩.༩༧ (བཟོ་གྲྭའི་རིམ་པ་); ༩༩.༩༩ ལས་སྦོམ་ཡང་ན་འདྲ་མཉམ་ (ཕྱེད་ཀ་གློག་རྒྱུན་རིམ་པ་)
	མཐུག་ཚད་ (g/cm3)	1.82–1.94
	ཐལ་བའི་ནང་དོན་ (ppm)	༢༠༠ ལས་ཉུངམ་ཡང་ན་འདྲ་མཉམ་ (བཟོ་གྲྭའི་རིམ་པ་) དང་། ༨༠ ལས་ཉུངམ་ཡང་ན་འདྲ་མཉམ་ (ཕྱེད་ཀ་གློག་རྒྱུན་རིམ་པ་)
	རྡུལ་ཕྲན་གྱི་ཚད་ (μm)	༤–༡༢ (འབྲུ་རིགས་ལེགས་ཤོམ་); ༡༢–༢༠ (འབྲུ་རིགས་བར་མ།)
འཕྲུལ་ཆས་ཀྱི་ནུས་པ།	བསྐུམ་ཤུགས་ (MPa)	35–60
	བསྡམས་ཤུགས་ (MPa)	70–110
	མཚོ་ཁའི་སྲ་བརྟན་ (HS)	50–75
	བསྒྱིར་ཚད་ཚད་གཞི་ (ཇི་པི་ཨེ་)	8–12
ཚ་དྲོད་ཀྱི་ནུས་པ།	ཚ་དྲོད་འདྲེན་ནུས་ (W/m·K)	༡༠༠–༡༨༠ (ཁང་པའི་དྲོད་ཚད།)
	ཚ་དྲོད་རྒྱ་སྐྱེད་ཚད་གཞི་ (10−6/ ཁུག་ཚད་ )	༢.༨–༣.༢ (༢༥–༨༠༠ ཌི་གྷི་རི་ )
	བཀོལ་སྤྱོད་དྲོད་ཚད་མཐོ་ཤོས་ ( ཚད་གཞི ) .	༡༨༠༠–༢༢༠༠ (གཡོ་འགུལ་མེད་པའི་བར་ཁམས་); ༤༥༠–༦༠༠ (རླུང་ཁམས་ཁོར་ཡུག)
	ཚ་དྲོད་ཀྱི་གཡོ་འགུལ་འགོག་ཤུགས་ ( ཚད་གཞི ) .	༥༠༠ ལས་ཆེ་བའམ་འདྲ་མཉམ་ (དྲོད་ཚད་ཁྱད་པར)
གློག་ཤུགས་ཀྱི་ནུས་པ།	འབོར་ཚད་འགོག་ཤུགས་ (μΩ·m)	7–12
གློག་ཤུགས་ཀྱི་ནུས་པ།	གློག་ཤུགས་འགོག་ཤུགས་ (kV/mm)	ལས་སྦོམ་པའམ་མཉམ་པ།
འཕྲུལ་ཆས་ཀྱི་གཏན་ཚིགས།	རྒྱ་ཚད་བཟོད་སྒོམ་ – རིང་ཚད་/རྒྱ་ཚད་ (mm)	±0.05 (ཚད་ལྡན་གྱི་རིམ་པ་); ±0.01 (གཏན་གཏན་གྱི་རིམ་པ་)
	ཆ་ཚད་བཟོད་སྒོམ་ – མཐུག་ཚད་ (mm)	±0.02 (ཚད་ལྡན་གྱི་རིམ་པ་); ±0.005 (འོད་ཀྱི་རིམ་པ་)
	ལེབ་ལེབ་ (mm/m)	0.05 ལས་ཉུང་བའམ་འདྲ་མཉམ།
	ཁ་ཐོག་རྩུབ་ཚད་ (Ra, μm)	0.2–0.8
ཁོར་ཡུག་འགོག་ཤུགས།	སྐྱུར་རྫས་ཟད་པའི་འབོར་ཚད་གྱོང་གུན་ (%)	༠.༣ ལས་ཉུང་བའམ་འདྲ་མཉམ་ (pH ༡–༣, ༡༠༠༠h)
	སྐྱུར་རྫས་ཟད་པའི་འབོར་ཚད་གྱོང་གུན་ (%)	༠.༥ ལས་ཉུང་བའམ་འདྲ་མཉམ་ (pH ༡༡–༡༤, ༡༠༠༠h)
	བཙོ་སྦྱོར་ཚད་ (g/m2·h)	༠.༠༡ ལས་ཉུང་བའམ་འདྲ་མཉམ་ (རླུང་ཁོར་ཡུག, ༤༠༠ ཌི་གྷི་རི་ )

ཐོན་སྐྱེད་ཚུ་གིས་ མི་སྒེར་གྱི་སྲོལ་སྒྲིག་འབད་ནི་ལུ་རྒྱབ་སྐྱོར་འབདཝ་ཨིན།

དངོས་ཁམས་དང་རྫས་འགྱུར་གྱི་ཁྱད་ཆོས།

གློག་རྒྱུན་སྤེལ་ཤུགས་: གཱར་ཕའིཊ་ཤོག་ལེབ་ཚུ་གིས་ གློག་རྒྱུན་རྒྱུན་སྤེལ་འབད་ཚུགས་པའི་ ཁྱད་དུ་འཕགས་པ་ཅིག་སྟོན་དོ་ཡོདཔ་ད་ འདི་ཡང་ གཙོ་བོ་ར་ π གློག་རྫས་སྤྲིན་དང་ ནག་རྫས་-ནག་རྫས་མཉམ་སྦྱོར་གྱི་མཐུད་སྦྱོར་གྱིས་ བཟོ་མི་ π-π བང་རིམ་གྱི་བཟོ་བཀོད་ལས་བརྟེན་ཏེ་ཨིན་མས། འ་ནི་རིམ་སྒྲིག་འདི་གིས་ དངོས་པོ་གི་ནང་འཁོད་ལུ་ གློག་རྫས་སྐྱེལ་འདྲེན་འཇོན་ཐངས་ཅན་སྦེ་འབད་ཚུགས་དོ་ཡོདཔ་ལས་ འདི་གིས་ 10^-6 Ω·m གི་ གདོང་ལེན་ཤུགས་འདི་ ཁྱད་དུ་འཕགས་པ་སྦེ་ དམའ་ཤོས་ཅིག་ཐོན་དོ་ཡོདཔ་ཨིན། འདི་ལུ་བརྟེན་ཏེ་ གཱར་ཕའིཊ་འདི་ གློག་རྫས་རྒྱུ་ཆ་ལེགས་ཤོམ་ཅིག་སྦེ་ལཱ་འབདཝ་ཨིན།
ཚ་དྲོད་ཀྱི་བརྒྱུད་གཏོང་།: གྷི་ར་ཕའིཊ་ཤོག་ལེབ་ལུ་ཡང་ཚ་དྲོད་ཀྱི་བརྒྱུད་སྤེལ་གྱི་ནུས་པ་འདི་ ལྕགས་རིགས་དང་ལྕགས་ དེ་ལས་ ལྕགས་རིགས་གཞན་ཚུ་ལས་ མཐོ་དྲགས་སྦེ་ཡོདཔ་ཨིན། འདི་ཡང་ བང་རིམ་གྱི་བཟོ་བཀོད་དང་ གཱར་ཕའིཊ་གི་ཤོག་ལེབ་ཀྱི་ བཀོད་སྒྲིག་མཐོ་དྲགས་སྦེ་ཡོད་མི་ལས་བརྟེན་ཏེ་ཨིནམ་ལས་ བང་རིམ་གྱི་བར་ན་ དར་ཁྱབ་བརྒྱུད་དེ་ དྲོད་ཀྱི་ནུས་ཤུགས་འདི་ འཇོན་ཐངས་ཅན་སྦེ་ བརྡ་སྤྲོད་འབད་ཚུགས།
འཕྲུལ་ཆས་ཀྱི་ཁྱད་ཆོས། གྷི་ར་ཕའིཊ་ཤོག་ལེབ་ལུ་ སྒྲིང་སྒྲིང་མཐོ་དྲགས་དང་ བསྒྱུར་བཅོས་མཐོ་དྲགས་ དེ་ལས་ མིག་ཆུ་བཀག་ཐབས་ཡོདཔ་ཨིན། དེ་གི་ཡོང་གི་ཚད་གཞི་དང་ ཐོན་ཤུགས་ཀྱི་སྟོབས་ཤུགས་འདི་ ༡ ཊི་པི་ཨེ་དང་ ༡༣༠ ཇི་པི་ཨེ་ལུ་ལྷོད་ཚུགས་དོ་ཡོདཔ་ད་ འདི་ཡང་ ལྕགས་རིགས་ལས་ ཚར་བཅུ་ཕྲག་ལས་ལྷག་སྟེ་ཡོདཔ་ཨིན། འདི་བཟུམ་གྱི་སྟོབས་ཤུགས་མཐོ་དྲགས་འདི་གིས་ གཱར་ཕའིཊ་གི་ཤོག་ལེབ་འདི་ གནོན་ཤུགས་མཐོ་དྲགས་དང་ དྲོད་ཚད་མཐོ་དྲགས་ཀྱི་མཐའ་འཁོར་ནང་ བརྟན་ཏོག་ཏོ་སྦེ་བཟོཝ་ཨིན།
རྫས་ཁམས་བརྟན་ཏོག་ཏོ་: གྷི་ར་ཕའིཊ་ཤོག་ལེབ་ཀྱི་ ནག་རྫས་-ནག་རྫས་མཐུད་སྦྱོར་འདི་ མཐུད་སྦྱོར་གྱི་ནུས་ཤུགས་མཐོ་དྲགས་དང་ རྫས་ཁམས་འགྱུར་ལྡོག་དམའ་ཤོས་ཡོདཔ་ལས་ རྫས་ཁམས་མང་ཤོས་ལུ་ བཀག་ཐབས་མཐོ་དྲགས་ཡོདཔ་ཨིན། སྐྱུར་རྫས་དང་ སྐྱུར་རྫས་དག་པ་ཅིག་གིས་རྐྱངམ་ཅིག་ འདི་ལུ་ ཟད་འགྲོ་བཏང་ཚུགསཔ་ལས་ གཱར་ཕའིཊ་གི་ཤོག་ལེབ་འདི་ རྫས་ཁམས་རྡུལ་ཕྲན་འཕྲུལ་ཁང་དང་ སྒྱུར་རྫས་འབག་མི་ནང་ལུ་ ཁྱབ་ཆེཝ་སྦེ་ལག་ལེན་འཐབ་ཨིན།

གཏན་འཁེལ་-འཕྲུལ་ཆས་ཀྱིས་བཟོས་པའི་གྷི་ར་ཕའིཊ་པེལེཊ་འདི་ གཏན་འཁེལ་མཐོ་དྲགས་དང་ མཐའ་འཁོར་གནས་སྟངས་ལུ་གདོང་ལེན་འབད་ཚུགས་མི་ དེ་ལས་ རང་མོས་བཟོ་ཚུགས་པའི་ ཤུགས་ཆེ་བའི་ བཟོ་བསྐྲུན་གྱི་དོན་ལུ་ མེད་ཐབས་མེད་པའི་རྒྱུ་ཆ་ཅིག་ལུ་འགྱུར་ཡོདཔ་ཨིན། ལཱ་འབད་ཐངས་ལེགས་ཤོམ་བཟོ་ཐབས་ལུ་ གཱར་ཕའིཊ་གདམ་ཁ་རྐྱབ་པའི་སྐབས་ གཱར་ཕའིཊ་གི་གཙང་སྦྲ་དང་ རྡུལ་ཕྲན་གྱི་ཚད་ བཟོ་སྦྱོར་གྱི་ཐབས་ལམ་ དེ་ལས་ ཁ་ཐོག་གི་སྨན་བཅོས་ཚུ་ ཡོངས་སུ་རྫོགསཔ་སྦེ་ བརྩི་འཇོག་འབད་དགོཔ་ཨིན།